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臭氧消毒法可以用于消毒毛巾，其原理是通过臭氧的强氧化作用破坏细菌、病毒等微生物的内部结构，从而达到消毒的目的，对于毛巾这类纺织品的消毒，臭氧消毒可以有效去除上面的细菌、病毒等病原微生物。

至于臭氧消毒毛巾是否可以达到100%灭菌，虽然臭氧消毒的效果很好，但是并不能保证100%灭菌，这是因为消毒效果还受到多种因素的影响，如臭氧的浓度、处理时间、温度等，毛巾的质地、污染程度等也会影响消毒效果，虽然臭氧消毒是一种有效的毛巾消毒方式，但不能保证绝对的无菌。

臭氧消毒可以用于毛巾的消毒，并且有较好的消毒效果，但无法保证达到完全的100%灭菌，为了确保最佳的消毒效果，建议遵循相关的消毒操作规范和建议。